 |
北京.西三環.花園橋 電話︰+86-10-6845-0201 E-mail:ionbeam@ionbeamtech.com
北京.海澱.西二旗 電話︰+86-10-5885-6687
上海.浦東.集電港
電話︰+86-21-5896-4339
深圳.南山.科技園 電話︰+86-755-2601-4752 無錫.新區.國合園 電話︰+86-510-6855-5119 成都.高新.孵化園
電話︰+86-28-8602-8526
西安.雁塔.自力 電話︰+86-29-8821-5437 |
|
|
FIB(聚焦離子束)是將液態金屬(Ga)離子源產生的離子束經過離子槍加速,聚焦後照射于樣品表面產生二次電子信號取得電子像.此功能與SEM(掃描電子顯微鏡)相似,或用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學氣體反應,有選擇性的剝除金屬,氧化 層或沉積金屬層。 |
公司簡介 |
納瑞科技(北京)有限公司是由在聚焦離子束(掃描離子顯微鏡)應用技術領域有多年經驗的技術骨干創立而成。我們為集成電路設計和制造工業,光電子工業,納米材料研究客戶提供一流的分析技術服務。我們特別專注于離子束應用技術在
IC芯片修改以及失效分析領域的技術開發。利用我們的技術實力為IC 設計,制造客戶提供世界水平的分析技術服務。》more
|
|
技術專長 |
針對0.18微米線寬以下多層銅布線芯片的修改工藝
針對模擬信號IC芯片的低阻值連接
針對長距離連線的低阻值連接
新型氣體源FIB切割加工服務 |
|
|
|
|